MA-Ultra200掃描電子顯微鏡
產品參數：
技術參數
一、電子光學系統
1.1、高電壓二次電子分辨率：0.4nm @15kV；
1.2、低電壓二次電子分辨率：0.7nm @1kV；
1.3、超低電壓二次電子分辨率：0.8nm @500V；1.0nm @200V；
1.4、大束流二次電子分辨率：1.8nm@15kV（工作距離10mm，束流6.5nA下）
1.5、大工作距離分辨率：工作距離WD=10mm時，1kV下分辨率＝1.0nm；
1.6、電子束流范圍：1.0pA至100nA；
1.7、光闌：自加熱式光闌，確保清潔和無接觸式光闌更換；
1.8、復合式透鏡，具備靜電式透鏡、電磁透鏡和浸沒式透鏡三種模式，可切換不同模式，可測試磁性樣品；
1.9、采用肖特基熱場發射電子槍。
二、樣品室和樣品臺
2.1、樣品室：內寬365mm，分析工作距離10mm，端口14個；
2.2、樣品臺：五軸馬達驅動，X移動范圍110mm，Y移動范圍110mm，Z移動范圍65mm，T傾斜角度-15°～+90°，n*360°旋轉；
2.3、配備電子束減速模式：樣品臺偏壓范圍-5000V至+1000V；
2.4、配備極靴清理模塊,用于清洗極靴內部的灰塵顆粒等污染物。
三、探測器和相機
3.1、樣品室二次電子探測器1個；
3.2、透鏡內二次電子探測器1個；
3.3、透鏡內高敏感背散射電子探測器1個，可在50V電壓下采集背散射電子圖像，適用于各類不導電和導電樣品背散射電子圖像觀察；
3.4、鏡筒內高分辨二次電子探測器1個，可探測樣品電位襯度；
3.5、電子束束流計1個；
3.6、紅外CCD相機1個；
3.7、宏觀導航相機（安裝在樣品倉內）1個，視野160*105mm，3072*2048像素，至少具備自動圖像采集、數字變焦、圖像注釋、圖像保存功能；
3.8、獨立探測器和相機的數量7個。
四、數字圖像記錄系統
4.1、圖像存儲分辨率：65k ×65k像素（非疊加下）；
4.2、一鍵實現光路自動合軸、自動消像散及自動聚焦；
4.3、四活動窗口顯示，可同時顯示4幅不同探測器圖像。
五、應用軟件
5.1、配置自動圖像拍照和拼接軟件，可實現不小于7×24小時無人值守自動拍照和圖像拼接，可實時對已選定視場進行回溯；
5.2、電鏡操作具備取消重做功能，可返回任意一步操作；
5.3、具有樣品臺圖像導航功能，雙擊鼠標移動樣品功能，鼠標拖曳式放大及對中功能；
5.4、具有基礎操作應用的向導，使用超鏈接操作電鏡，實現新手快速入門。
六、電制冷能譜儀
6.1、探測器：硅漂移（SDD）電制冷探測器，60平方毫米有效面積；
6.2、能量分辨率：在100,000CPS條件下Mn Ka保證優于129eV；
6.3、自動譜峰識別和用戶輔助手動譜峰識別，動態無標準定量；
6.4、自動馬達臺控制能譜儀的伸縮，確保能譜儀能自動到達理想探測位置。
七、附屬配件
7.1、碳導電膠5卷，銀膠1管，標準樣品臺100個；
7.2、UPS電源，10KVA，續航1小時；
7.3、離子濺射儀：可對樣品進行鍍金，適用于場發射掃描電子顯微鏡觀察。
